真空泵的種類
真空泵根據(jù)其工作原理和結(jié)構(gòu)的不同,可以分為多種類型。以下是常見的幾種真空泵類型:
機械泵:機械泵是一種利用機械運動產(chǎn)生真空的泵,它包括旋轉(zhuǎn)葉片泵、根式泵、渦流泵和吸氣式泵等。機械泵通常用于低真空或中真空范圍。
分子泵:分子泵利用氣體分子與固體表面的碰撞和吸附作用產(chǎn)生真空的一種泵。它主要用于高真空范圍,具有高度的抽氣速度和抽氣效率。
漩渦泵:漩渦泵是一種使用渦旋流動來抽氣的泵。它通常用于低真空范圍,具有抽氣速度快、無振動、無油污染等優(yōu)點。
氣體靜壓軸承泵:氣體靜壓軸承泵是一種利用氣體靜壓力支撐轉(zhuǎn)子的軸承結(jié)構(gòu),通過轉(zhuǎn)子的高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生真空。它主要用于高真空范圍,具有高度的穩(wěn)定性和可靠性。